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La nanotechnologie désigne en général les techniques de conception de formes de plusieurs nanomètres à plusieurs centaines de nanomètres. La nanotechnologie (1nm = 10-9m) requiert mille fois plus de précision que la microtechnologie (1µm = 10-6m).
Panasonic Electric Works s'est concentré sur les capteurs et a poursuivi le développement de la technologie MEMS permettant de fabriquer en série des wafers 3D en silicium. Cette technologie utilise des techniques avancées telles que la gravure à fort facteur d'aspect (c.-à-d. la profondeur de la gravure est supérieure à la largeur), la formation de trous d'interconnexion, une fabrication haute précision à l'aide de la technologie SOI (Silicon on Insulator = Silicium sur isolant, par ex. pour des cartes à contacts soudés), et l'association de wafers en silicium et de substrats de verre.
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